Skenirni elektronski mikroskop (SEM) je mikroskop z visoko ločljivostjo, ki omogoča zelo majhne podrobnosti. To je kratek pregled, kako fotografirati vzorec z eno. Upoštevajte, da je SEM zelo občutljiv del opreme in ga je treba uporabljati zelo previdno. Če natančno sledite tem korakom, boste skoraj zagotovili, da ne boste poškodovali svojega mikroskopa. Obstaja tudi veliko več funkcij, ki niso obravnavane v tem članku, vendar ta postopek opisuje, kako dobiti osnovno sliko.
Ta članek vsebuje posebna navodila za mikroskop JEOL JSM-6010LA. Vsak mikroskop JEOL bo imel zelo podobne kontrole kot mikroskop, opisan v teh navodilih. Hitachi mikroskopi bodo prav tako zelo podobni, vendar imajo lahko druge znamke, kot je Zeiss, krmilne gumbe na različnih mestih.
Koraki
Korak 1. Pridobite pripravljen vzorec
Priprava vzorca za elektronsko mikroskopijo je zelo poglobljen postopek, zato za ta postopek uporabite vzorec, ki je bil pripravljen za vas. Če je vzorec pripravljen za SEM, mora biti ustrezne velikosti in imeti mora tudi prevodno površino. Ker je bil vzorec že pripravljen, bo ta članek predpostavil, da izpolnjuje te pogoje.
Korak 2. SEM segrejte na atmosferski tlak, da odprete vrata vzorca
Zavedajte se, da bo SEM vedno vklopljen, komora za vzorčenje pa bo vedno pod vakuumom. To pomeni, da bo v komori popolnoma prazna molekula plina, zato bodo imeli elektroni jasno pot proti vzorcu. Pritisnite in držite gumb VENTILATOR, dokler ne utripa in zaslišite klik. Gumb VENT bo utripal, dokler se okolje v komori ne dvigne na atmosferski tlak. Ko gumb VENT sveti oranžno, to pomeni, da je komora pri atmosferskem tlaku in lahko odprete vrata.
Korak 3. Nosite rokavice
To je izredno pomembno, ker mora komora SEM ostati zelo čista!
- Z ročaji na obeh straneh vrat počasi potisnite ven.
- Ko so vrata odprta, previdno primite držalo za vzorec in ga potisnite v desno. Odstranil se bo iz utorov in zdaj lahko naložite vzorec.
- Na vsakem od štirih vogalov držala za vzorec sta po dva vijaka, ki držita vzorec na mestu. Te vijake rahlo popustite (pol obrata izvijača bi moralo biti dovolj) in nato odstranite slepi vzorec iz držala.
- Prazen vzorec lahko zaenkrat odložite, vendar ga postavite na Kimwipe in ne neposredno na mizo ali mizo. Vzorec vstavite v držalo, nato privijte vijake.
- Ko je vzorec nameščen, držite vzorec nazaj v utore na stopnji vzorca.
- Zdaj lahko vrata zaprete tako, da potisnete vrata nazaj v komoro.
Korak 4. Medtem ko držite vrata zaprta, pritisnite in držite gumb EVAC, dokler ne začne utripati, da postavite komoro nazaj v vakuum
Slišali boste klike, nato pa čez kakšno minuto zaslišali vrtenje turbin črpalke. Te črpalke bodo odstranile vse delce plina iz komore in znižale notranji tlak na približno 10^-6 torr. Ko gumb EVAC sveti zeleno, to pomeni, da je komora v vakuumu. Zdaj počakajte dodatnih 5 minut, preden nadaljujete na naslednji korak.
Korak 5. Ko mine 5 minut, ste pripravljeni vklopiti elektronski žarek in začeti fotografirati
- Pojdite v računalnik SEM in programska oprema za mikroskop mora biti vklopljena. Zeleni gumb v zgornjem desnem kotu zaslona bo izpisal OFF, kar pomeni, da je elektronski žarek izklopljen. Kliknite, da vklopite žarek, nato pa se izpiše ON.
- Nato kliknite gumb ACB (samodejni kontrast in svetlost) in vaš vzorec bo prišel na ogled.
- Z gumbom za povečavo na nadzorni plošči povečajte želeno povečavo. Dobro bi bilo, da se osredotočite na večjo povečavo, kot si želite za svojo sliko, zato bo vaša slika videti bolje, če jo pomanjšate. Na primer, če želite sliko pri 2, 500x, se boste morda želeli izostriti na približno 4000x.
- Ko povečate sliko, z gumbom za izostritev izostrite sliko.
Korak 6. Prilagodite višino vzorca
Zdaj je vaš vzorec v središču pozornosti, vendar boste morda opazili, da ni videti tako dobro, kot bi pričakovali.
- Pod sliko vašega vzorca na računalniškem zaslonu boste videli delovno razdaljo, določeno kot "WD x mm", kjer je x število običajno okoli 10-20. Upoštevajte to številko.
- Za dobre slike lahko uporabite delovno razdaljo 10 mm. To pomeni, da je žarek osredotočen 10 mm stran od leče. Če želite nastaviti svojo delovno razdaljo, kliknite »WD x mm« in prikazal se bo drsnik, ki vam omogoča, da poljubno številko x spremenite v 10. Pojdite naprej in kliknite 10.
- Trenutno je višina vzorca Z = 25 mm. Če želite spremeniti višino vzorca, uporabite gumb Z. Ta del je lahko težaven. Ne glede na prvotno delovno razdaljo odštejte 10 od in to je, koliko boste potrebovali, da premaknete Z-gumb. Na primer, če je bil vaš WD 16 mm in ste ga spremenili na 10 mm, boste morali Z-gumb premakniti navzdol za približno 6 mm. Tako ga boste obrnili na približno 19 mm.
- Medtem ko zavrtite gumb Z, opazujte zaslon, ker se bo začel izostriti. Ko je izostrena, je vaša slika pripravljena!
Korak 7. Pomanjšajte želeno povečavo in če se želite premakniti na drugo območje vzorca, lahko uporabite gumba X in Y
Kontrast in svetlost lahko prilagodite tudi po svojih željah. Ko najdete območje, ki vam je všeč, fotografirajte tako, da kliknete ikono fotoaparata z napisom »SHRANI«. Odpre se pogovorno okno, v katerem lahko shranite slikovno datoteko. Datoteko lahko poimenujete po želji in jo shranite v katero koli mapo v računalniku ali na bliskovni pogon.
Korak 8. Izklopite elektronski žarek s klikom na zeleni gumb z napisom "ON" v zgornjem desnem kotu
Preden nadaljujete, se prepričajte, da piše "OFF". Obrnite gumba X, Y in Z tako, da je vsaka vrednost 25 mm. Zdaj pritisnite in držite gumb VENT, dokler ne začne utripati, da se komora za vzorec vrne na atmosferski tlak.
Korak 9. Odprite komoro za vzorčenje, ko gumb VENT sveti oranžno
Ko vzorec vzamete iz držala, slepi vzorec postavite nazaj v držalo in ga potisnite nazaj v odsek vzorca. Vrata potisnite nazaj v zaprt položaj. Na koncu pritisnite in držite gumb EVAC, dokler ne utripa. Komore SEM NIKOLI ne puščajte prezračene, saj lahko poškodujete dele v notranjosti. Ko gumb EVAC zasveti stalno zeleno, shranite, da zapustite SEM.
Opozorila
- Zelo pomembno je, da nosite rokavice, ko se dotikate vsega, kar bo šlo v komoro za vzorčenje!
- Nikoli pustite prostor SEM prezračen. Če zapustite SEM, se prepričajte, da gumb EVAC sveti zeleno.
- Če vaš vzorec ni bil pripravljen posebej za SEM, ga ne dajte v mikroskop! Nekateri vzorci se preprosto ne prikažejo dobro, drugi pa lahko dejansko poškodujejo notranje dele.
